Bei Spektralellipsometern stellen die Kompensatoren die größte Fehlerquelle dar. Spektrale Ellipsometer ohne Kompensator vermeiden diese Fehlerquelle, können aber nicht zwischen rechts- und linksdrehenden Wellen unterscheiden. Mit Hilfe dieser Simulationshilfe ist es möglich, eine kontinuierliche Elliptizitätskurve ohne Kompensator zu erzeugen, so dass die Eigenschaften rechts- bzw. linksdrehend ohne Kompensator alleine durch Plausibilität ermittelt werden kann.


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