| EL X-02 P |
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| Monochromatisches Ellipsometer mit einer Laserdiode als Lichtquelle
(Laserklasse 2, <1mW, 635 oder 670nm) |
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| Messempfindlichkeit: | besser als 0,1nm (SiO2/Si) |
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| (ohne Rechner) |
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| Preis: | ab € 9950,- netto |
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| EL X-02 PII |
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| Monochromatisches Ellipsometer mit einer Laserdiode als Lichtquelle
(Laserklasse 2, <1mW, 635 oder 670nm) |
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| Messempfindlichkeit: | besser als 0,1nm (SiO2/Si) |
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| (Mit Rechner) |
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| Preis: | ab € 13500,- netto |
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| EL X-02 P Spec |
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| Spektroskopisches Ellipsometer mit Halogenlampe als Lichtquelle
(35W, Weißlicht) |
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| Der Monochromator (400nm - 1000nm) ist vor der Probe angeordnet |
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| (ohne Rechner) |
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| Preis: | ab € 29950,- netto |
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| EL X-02 C |
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| Monochromatisches Forschungsellipsometer mit HeNe-Laser
(Laserklasse 3a, <3mW, 632,8 nm) |
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| Messempfindlichkeit: | besser als 0,01nm (SiO2/Si) |
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| Preis: | ab € 26500,- netto |
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| Enhanced EL X-02 C |
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| Monochromatisches Forschungsellipsometer mit HeNe-Laser
(Laserklasse 3a, <3mW, 632,8nm) |
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| Messempfindlichkeit: | ca. 0,001-0,01nm (SiO2/Si) |
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| Preis: | ab € 35000,- netto |
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| EL X-02 BI |
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| Monochromatisches Forschungsellipsometer mit HeNe-Laser
(Laserklasse 3a, <3mW, 632,8nm) |
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| Messempfindlichkeit: | ca. 0,01nm (SiO2/Si) |
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| Geeignet für die in-situ Aufnahme von Kinetiken |
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| Preis: | ab € 29500,- netto |
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| EL X-02 BII |
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| Monochromatisches Forschungsellipsometer mit HeNe-Laser
(Laserklasse 3a, <3mW, 632,8nm) |
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| Messempfindlichkeit: | ca. 0,005nm (SiO2/Si) |
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| Geeignet für die in-situ Aufnahme von Kinetiken |
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| Preis: | ab € 38000,- netto |
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| Enhanced EL X-02 BII |
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| Monochromatisches Forschungsellipsometer mit HeNe-Laser
(Laserklasse 3a, <3mW, 632,8nm) |
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| Messempfindlichkeit: | ca. 0,001nm (SiO2/Si) |
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| Geeignet für die in-situ Aufnahme von Kinetiken |
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| Preis: | ab € 45000,- netto |
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| Enhanced EL X-02 Fast |
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| Monochromatisches Forschungsellipsometer mit HeNe-Laser
(Laserklasse 3a, <3mW, 632,8nm) |
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| Messempfindlichkeit: | ca. 0,001nm (SiO2/Si) |
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| Geeignet für die in-situ Aufnahme von Kinetiken |
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| Messzeit <1 s |
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| Preis: | ab € 52000,- netto |
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| EL X-02 Spec 1 |
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| Spektroskopisches Ellipsometer mit Xenon-Lichtquelle (70 W, Weißlicht) |
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| Der Monochromator (300nm - 1000nm) ist vor der Probe angeordnet |
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| (mit Rechner) |
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| Preis: | ab € 39950,- netto |
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| EL X-02 Spec 2 |
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| Spektroskopisches Ellipsometer mit Xenon-Lichtquelle (70W, Weißlicht) |
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| Der Monochromator (300nm - 1700nm) ist vor der Probe angeordnet |
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| (mit Rechner) |
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| Preis: | ab € 52000,- netto |
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| EL X-02 Spec 2UV |
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| Spektroskopisches Ellipsometer mit Xenon-Lichtquelle (70W, Weißlicht) |
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| Der Monochromator (250nm - 1700nm) ist vor der Probe angeordnet |
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| (mit Rechner) |
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| Preis: | ab € 58000,- netto |
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| EL X-02 Spec 3 |
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| Spektroskopisches Ellipsometer mit Xenon-Lichtquelle (70W, Weißlicht) |
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| Der Monochromator (300nm - 2400nm) ist vor der Probe angeordnet |
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| (mit Rechner) |
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| Preis: | ab € 62000,- netto |
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| EL X-02 Spec 3UV |
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| Spektroskopisches Ellipsometer mit Xenon-Lichtquelle (70W, Weißlicht) |
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| Der Monochromator (250nm - 2400nm) ist vor der Probe angeordnet |
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| (mit Rechner) |
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| Preis: | ab € 72000,- netto |
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